0.1兆歐·厘米至1.0兆歐·厘米之間的水（使用III型RO過濾器實現(xiàn)的純度）將適合jue大多數(shù)研究實驗室的滅菌器負荷,，例如對生物有害的廢物,，衣服,，籠子,，玻璃器皿，介質(zhì)或一般實驗室設備,。另一方面,，對礦物污染非常敏感的物品,，例如組織樣本或cGMP過程中使用的物品，僅應使用大于 1兆歐·厘米的水產(chǎn)生的蒸汽進行滅菌,。這種純度的水通常只能通過DI和蒸餾提純獲得,。
請記住，當使用高純水（大于1兆歐·厘米）作為蒸汽產(chǎn)生源時，高壓滅菌器必須由不銹鋼制成,，特別是箱體，夾套和蒸汽發(fā)生器和工藝管道,。高純水缺少離子或礦物質(zhì),，會嘗試從其接觸的所有物質(zhì)中濾出雜質(zhì),，包括玻璃,，鋼和銅,。這可能會導致連續(xù)腐蝕以及非不銹鋼部件的過早失效。